氣浮位移臺使用注意事項主要包括以下幾點
更新時間：2024/03/21
更新時間：2024/03/21
1、氣源要求：氣浮臺的供氣氣源必須是潔凈的，無水無油，固體顆粒應小于0.2μm，壓力露點應達到-20℃。為了確保氣源的潔凈度，應定期使用三級過濾器進行排水，并根據(jù)地域濕度的不同，實際情況檢查，可能需要周/月/季進行檢查。三級過濾器應豎直安裝，并定期檢查是否有油水的情況，如有，應打開過濾器底部開關(guān)排出。
2、安裝與清潔：在安裝工件前，直線軸和轉(zhuǎn)臺負載臺面以及機械轉(zhuǎn)臺安裝的工件平面度應控制在3μm以內(nèi)，這要求使用無水乙醇進行擦拭干凈后再進行安裝。安裝螺釘時，無論是四角固定還是環(huán)形固定，都應按照對角線的順序進行安裝，先輕微上力，再逐步加力，并參考螺釘緊固力矩標準。
3、通電與通氣順序：轉(zhuǎn)臺在使用時，應先通氣再通電，氣壓應保持在0.5~0.6Mpa之間。關(guān)機時，應先斷電再斷氣，以確保設(shè)備的正常運行和安全。
4、精度與維護：氣浮位移臺在使用過程中，應注意保持其精度指標，如定位精度、重復定位精度、直線度、平面度等。此外，定期對設(shè)備進行維護和檢查，確保其處于良好的工作狀態(tài)。
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